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高真空高解析度電性量測儀設計獨步全球(102.10.29)

為解決量測奈米材料電性問題,本校馬遠榮教授研究團隊、與中央研究院物理研究所劉鏞博士團隊合作,自製一部高真空高解析度電性量測儀,其設計獨步全球、操作簡單,可量測每一根奈米線、或奈米柱的電阻(或電阻率),不但方便簡易、價格便宜,又無須使金屬接頭的尺寸奈米化,故對未來半導體產業奈米電子元件,有重要的影響。

本校物理學系教授馬遠榮表示,對科學家而言,要量測奈米材料的電阻(或電阻率),是一件困難且有爭議的事,主因奈米材料太過渺小,而普通的量測金屬接頭太過巨大,量測奈米材料好像大海撈針般,無法取得到真正量測結果。

有些科學家也將金屬接頭的尺寸奈米化,方便與奈米材料連接,以量測奈米材料的電阻(或電阻率),但這樣的技術非常繁瑣與複雜,且所費不貲;又因金屬奈米接頭尺寸過小,易將其燒毀,故所得的量測結果常常不能重覆,令人擔心結果的正確性。

為解決量測奈米材料電性問題,國立東華大學馬遠榮教授研究團隊、與中央研究院物理研究所劉鏞博士團隊合作,自製一部高真空高解析度電性量測儀,以球形金屬接頭精確地接觸整束的奈米線、或奈米柱,因每一根奈米線、或奈米柱都代表一根電阻,故當接上電源時,電流會被每根奈米線、或奈米柱分流,故不易燒毀奈米線、或奈米柱,又可重覆得到量測其電性結果,大大提升量測電性的精確度與可信度。

此研究由國科會支持,成果刊載於今年十月《自然》(Nature)子期刊 - 《科學報導》(Scientific Reports)中。馬遠榮教授也因對奈米科學與技術的貢獻,接受《科學報導》(Scientific Reports)之邀請,成為該期刊編輯委員會委員,參與該期刊有關奈米科學與技術文章的送審定奪。

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